Электронный архив открытого доступа НИУ «БелГУ»: Browsing DSpace

Browsing by Subject RF magnetron sputtering

Jump to: 0-9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Y Z А Б В Г Д Е Ж З И Й К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Ц Ч Ш Щ Ъ Ы Ь Э Ю Я
or enter first few letters:

Showing results 1 to 2 of 2

Issue Date	Title	Author(s)
2014	RF-Magnetron sputtering of Si3N4 and study of Si3N4/p-Si heterostructures	Zakhvalinskii, V. S.; Goncharov, I. Yu.; Kudryavtsev, E. A.; Piluk, E. A.; Kolesnikov, D. A.
2014	RF-Magnetron sputtering of silicon carbide and silicon nitride films for solar cells	Zakhvalinskii, V. S.; Piljuk, E. A.; Goncharov, I. Yu.; Rodriges, V. G.; Taran, S. V.

Showing results 1 to 2 of 2