http://dspace.bsu.edu.ru/handle/123456789/48044
Title: | Перенос массы при осаждении молибденовых покрытий из плазмы вакуумного дугового разряда |
Authors: | Белоус, В. А. Лунев, В. М. Павлов, В. С. |
Keywords: | естественные науки физика физика плазмы плазма молибден вакуумный дуговой разряд катоды |
Issue Date: | 2001 |
Citation: | Белоус, В.А. Перенос массы при осаждении молибденовых покрытий из плазмы вакуумного дугового разряда / В.А. Белоус, В.М. Лунев, В.С. Павлов ; ННЦ "Харьковский физико-технический институт" // Научные ведомости БелГУ. Сер. Физика. - 2001. - №2(15).-С. 19-21. |
Abstract: | Исследования переноса массы испаряемого вещества в системе катод-подложка при осаждении молибденовых покрытий из плазмы вакуумного дугового разряда, генерируемой источником с магнитным удержанием катодного пятна на рабочей поверхности катода |
URI: | http://dspace.bsu.edu.ru/handle/123456789/48044 |
Appears in Collections: | № 2 (15) |
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
Belous V.A._Pernos.pdf | 219.48 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.