http://dspace.bsu.edu.ru/handle/123456789/53397
Title: | Влияние давления азота на внутренние напряжения, морфологию поверхности и механические свойства наноразмерных углеродных покрытий |
Authors: | Суджанская, И. В. Колпаков, А. Я. Поплавский, А. И. Гончаров, И. Ю. |
Keywords: | физика электричество наноразмерные покрытия углеродные покрытия азот морфология поверхности легирование азотом внутренние напряжения микротвердость трещиностойкость |
Issue Date: | 2011 |
Citation: | Влияние давления азота на внутренние напряжения, морфологию поверхности и механические свойства наноразмерных углеродных покрытий / И.В. Суджанская, А.Я. Колпаков, А.И. Поплавский и др. ; НИУ БелГУ // Научные ведомости БелГУ. Сер. Математика. Физика. - 2011. - №11(106), вып.23.-С. 70-74. |
Abstract: | Углеродные покрытия, легированные азотом толщиной до 100 нм, получены на подложках монокристаллического кремния импульсным вакуумно-дуговым методом при напуске азота в вакуумную камеру. Исследованы зависимости величины внутренних напряжений, степени шероховатости, механических свойств наноразмерных углеродных покрытий от давления азота |
URI: | http://dspace.bsu.edu.ru/handle/123456789/53397 |
Appears in Collections: | № 11 (106), вып. 23 |
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
Sudzhanskaya_Vliyanie.pdf | 3.06 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.