| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Гончаров, И. Ю. | - |
| dc.contributor.author | Колесников, Д. А. | - |
| dc.contributor.author | Кучеев, С. И. | - |
| dc.contributor.author | Омельченко, Е. И. | - |
| dc.contributor.author | Тучина, Ю. С. | - |
| dc.date.accessioned | 2023-07-04T07:20:27Z | - |
| dc.date.available | 2023-07-04T07:20:27Z | - |
| dc.date.issued | 2012 | - |
| dc.identifier.citation | Обеднение кремния, облученного фокусированным пучком ионов Ga в структуре Si /нематик/ электрод / И. Ю. Гончаров [и др.] ; НИУ БелГУ // Научные ведомости БелГУ. Сер. Математика. Физика. - 2012. - №23(142), вып.29.-С. 122-127. | ru |
| dc.identifier.uri | http://dspace.bsu.edu.ru/handle/123456789/54585 | - |
| dc.description.abstract | Результаты экспериментального исследования возможности использования фокусированных ионных пучков галлия сканирующего ионного микроскопа для решения задачи безмасочного варьирования порога обеднения кремния в структуре Si/ нематик/электрод | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.subject | физика | ru |
| dc.subject | физика твердого тела | ru |
| dc.subject | кристаллография | ru |
| dc.subject | кремний | ru |
| dc.subject | жидкокристаллическая решетка | ru |
| dc.subject | ионные пучки | ru |
| dc.title | Обеднение кремния, облученного фокусированным пучком ионов Ga в структуре Si /нематик/ электрод | ru |
| dc.type | Article | ru |
| Appears in Collections: | № 23 (142), вып. 29
|
