http://dspace.bsu.edu.ru/handle/123456789/54912
Title: | Особенности структурно-фазового состояния композиционных нананоструктурных покрытий на основе ZR-TI-SI-N, полученных методом вакуумно-дугового осаждения |
Authors: | Береснев, В. М. Грудницкий, В. В. Колесников, Д. А. Крыцына, Е. В. Прозорова, М. С. |
Keywords: | физика физика плазмы сверхтвердые покрытия отжиг ионно-плазменное осаждение фазовый состав вакуумно-дуговое осаждение |
Issue Date: | 2012 |
Citation: | Особенности структурно-фазового состояния композиционных нананоструктурных покрытий на основе ZR-TI-SI-N, полученных методом вакуумно-дугового осаждения / В.М. Береснев, В.В. Грудницкий, Д.А. Колесников и др. // Научные ведомости БелГУ. Сер. Математика. Физика. - 2012. - №11(130), вып.27.-С. 149-153. - Библиогр.: с. 152. |
Abstract: | С помощью вакуумно-дугового осаждения в ВЧ разряде были получены сверхтвердые наноструктурные комбинированные покрытия с твердостью Hv ≥ 40 GPa. Проведен анализ влияния высокотемпературного отжига в вакууме 1180 °С и воздушной среде 800 °С на фазовый состав, структуру и напряженное состояние ионно-плазменных покрытий Zr-Ti-Si-N. В работе рассмотрено два режима осаждения покрытий |
URI: | http://dspace.bsu.edu.ru/handle/123456789/54912 |
Appears in Collections: | № 11 (130), вып. 27 |
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
Beresnev_Osobennosti.pdf | 118.22 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.