http://dspace.bsu.edu.ru/handle/123456789/56301| Title: | Оптические свойства пленок SiC, SiC₀.₇N₀.₃, Si₃N₄, полученных методом магнетронного напыления |
| Authors: | Захвалинский, В. С. Пилюк, Е. А. Иванчихин, С. В. Погребняк, М. А. |
| Keywords: | физика физика твердого тела наноразмерные тонкие пленки магнетронное нереактивное напыление электроника |
| Issue Date: | 2013 |
| Citation: | Оптические свойства пленок SiC, SiC₀.₇N₀.₃, Si₃N₄, полученных методом магнетронного напыления / B.C. Захвалинский, Е.А. Пилюк, С.В. Иванчихин и др. ; НИУ БелГУ // Научные ведомости БелГУ. Сер. Математика. Физика. - 2013. - №26(169), вып.33.-С. 156-158. - Библиогр.: с. 158. |
| Abstract: | Результаты исследований спектров поглощения тонких пленок SiC, SiC ₀.₇N₀.₃, Si₃N₄, полученных методом высокочастотного магнетронного нереактивного напыления |
| URI: | http://dspace.bsu.edu.ru/handle/123456789/56301 |
| Appears in Collections: | № 26 (169), вып. 33 |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Zakhvalinskiy_Opticheskie_svoystva.pdf | 83.01 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.