http://dspace.bsu.edu.ru/handle/123456789/4728| Название: | The effect that nitrogen ion irradiation and the deposition of a nanosize-thick carbon coating have on microhardness and crack-growth resistance in silicon |
| Авторы: | Kolpakov, A. Ya. Druchinina, O. A. Kharchenko, V. A. |
| Ключевые слова: | equipment chemical production silicon wafers ions nitrogen ions carbon coating compressive stresses resistance silicon silicon |
| Дата публикации: | 2009 |
| Библиографическое описание: | The effect that nitrogen ion irradiation and the deposition of a nanosize-thick carbon coating have on microhardness and crack-growth resistance in silicon / A.Ya. Kolpakov, O.A. Druchinina, V.A. Kharchenko ; Belgorod State University // Nanotechnologies in Russia. - 2009. - Vol.4, N3-4.-P. 166-169.. - doi: 10.1134/S1995078009030033. |
| Краткий осмотр (реферат): | The behavior of silicon wafers in the starting state (after both irradiation with nitrogen ions and after nitrogen ion irradiation and the deposition of an 80-nm-thick carbon coating) has been investigated |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | http://dspace.bsu.edu.ru/handle/123456789/4728 |
| Располагается в коллекциях: | Статьи из периодических изданий и сборников (на иностранных языках) = Articles from periodicals and collections (in foreign languages) |
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Kolpakov_The Effect that Nitrogen.pdf | 505.26 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.